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TIM 涂覆工艺、厚度控制与接触热阻

同一款 TIM,工艺做好做坏,界面热阻能差一倍。本课深入接触热阻的物理与 BLT 工艺控制:涂覆窗口、压缩定厚、润湿排气除空洞,再到 ASTM D5470 怎么把体热阻与接触热阻分离,以及仿真里 TIM 层到底该怎么建。

H5-02 · 材料、连接与制造工艺 / 导热界面材料 TIM
L3 专家 结构仿真
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课程大纲

学完能做什么
  • 能把界面总热阻分解为体热阻+两侧接触热阻,并判断谁主导
  • 能设计涂覆量与压缩行程,把 BLT 控进目标带
  • 能识别并抑制空洞、干涉、溢料、贫料等工艺缺陷
  • 能用 ASTM D5470 多厚度法分离出体 k 与接触热阻
  • 能在 CFD / 热阻网络里给 TIM 层赋含接触项的有效热阻,而非直接填体 k
内容大纲
  1. 接触热阻的物理
    • 真实表面=微凸点接触+大量空气间隙,故有接触热阻
    • 接触热阻随接触压力升高而降、随表面粗糙度/平面度变差而升
    • 串联关系 R = BLT/k + R_c1 + R_c2
    • 薄 BLT 时接触项主导,厚 BLT 时体项主导
  2. 涂覆方式、涂覆量与 BLT 定厚设计
    • 点涂(dispense):直线走线 / 点阵 / 蛇形,涂覆量≈目标 BLT × 投影面积
    • 丝印/钢网印刷、预成型垫贴装、相变片预贴
    • BLT 由压缩力、限位(挡块/骨架)、最大填料粒径、翘曲共同决定
    • 定厚方式:压到硬止挡 / 控压缩力 / 控间隙垫片
    • 最大填料颗粒是 BLT 的下限:粗颗粒=高 k 但压不薄
    • 面内翘曲与公差叠加导致 BLT 分布不均、局部超薄或超厚
  3. 空洞、润湿与涂覆缺陷的抑制
    • 空洞成因:卷气、走线交叠、压合排气路径不畅
    • 溢料、贫料、错位、气泡拖尾等常见缺陷
    • 压合速度、留排气通道、必要时真空贴合压空洞
    • 润湿:低粘随形好但更易泵出;表面清洁/等离子活化提升润湿
    • 空洞的热学后果:局部热点、有效 k 下降
    • 覆盖率与接触面积决定实际有效换热面积
  4. 量产布控:受控特性、SPC 布点与上游胶料边界
    • 产线布控:受控特性取「单件胶量(在线称重)+覆盖率/空洞率(视觉或 X 光/CT 抽检)+压合行程或 BLT」,分别布在点涂后、压合后、下线抽检三个工位;SPC 的控制图选型与能力指数算法见 M2-01,本课不重讲
    • 产线布控的受控特性:单件胶量(在线称重)、涂覆图形位置与线宽(视觉)、压合后空洞率与覆盖率(X 光/CT 抽检)
    • 失控怎么反应:胶量点超限先查计量泵/料温与针头堵塞,空洞率超限先查压合速度与排气路径;出现连续点或趋势判异按批次隔离并追溯,靠加严目视顶不住,得回去改工艺窗口
    • 布点与失控反应:称重控在点涂工位(全检或高频抽检)、空洞率控在压合后(低频抽检);单件超差先隔离复测,连续偏移查针头磨损、胶温与背压——SPC/Cpk 方法本身见 M2-01,本课不重讲
    • 上游前提:双组分 TIM 的计量比、动/静态混合器与可用期(适用期)属胶料链,见 H4-03;本课只承接「到喷嘴口的料是合格的」这一前提
    • 双组分 TIM 的 AB 计量与混合链(混合比在线闭环、混合器更换周期、可用期与停机清洗)见 H4-03 新增节,本课只接收混合合格的料
  5. 测量:ASTM D5470 与相关性
    • D5470 稳态法:测同一材料不同厚度的热阻抗
    • 多厚度线性回归:斜率=1/k,截距=接触热阻之和
    • 与激光闪射(体扩散率)、热盘法(TPS)互校
    • 材料级 k 与装配级热阻的差异要分清
  6. 仿真里的 TIM
    • 别把 TIM 当体 k 实体建模,会漏掉两侧接触热阻
    • 用等效薄层热阻边界(thermal resistance BC)赋值
    • 对空洞、BLT 不均做敏感性分析
    • 与 J6-01 结温热阻网络的界面阻取值对齐
关键公式
R''_th(t) = t/k + R''_c,total
D5470 里热阻抗随厚度呈线性:一条直线同时含体与接触信息
slope = 1/k, intercept = R''_c1 + R''_c2
多厚度回归的斜率给体导热系数、截距给两侧接触热阻之和
R_c = f(1/P, σ, k)
接触热阻随接触压力 P 升高而降、随粗糙度 σ 升高而升(定性趋势)
BLT ≥ d_max
BLT 不可小于最大填料粒径,粗颗粒撑住了就压不下去
V_dispense ≈ BLT · A
点涂量按目标 BLT × 投影面积估,再按溢出/覆盖率修正
k_eff = t / R''_th < k_bulk(薄层)
有效导热系数含接触项,薄层时显著低于体 k,直接用体 k 会偏乐观
关键概念
接触热阻BLT体热阻ASTM D5470多厚度回归最大填料粒径空洞 void润湿 wetting定厚挡块覆盖率有效热阻薄层热阻边界受控特性与 SPC 布点
推荐工具与标准
ASTM D5470 热阻抗测试仪 激光闪射 LFA / 热盘法 TPS(体物性互校) X 射线 / CT(查界面空洞与覆盖率) 点胶机器人 / 钢网印刷设备 Icepak / Flotherm / Fluent(薄层热阻边界建模) 在线胶量称重秤与涂覆视觉检测系统(产线 SPC 的数据源)
ASTM D5470(热阻抗与导热系数) ASTM E1461(激光闪射热扩散率) ISO 22007(塑料导热系数瞬态法) IPC-TM-650(电子界面测试方法) JEDEC JESD51-14(瞬态双界面法:分离结-壳热阻与界面热阻,与 D5470 互为器件级与材料/装配级口径)
工程案例
某电控 IGBT 模块到冷板界面,早期仿真按体 k 建模、结温预测偏乐观,实测结温偏高。用 D5470 多厚度法分离出接触热阻在界面总热阻里占了相当比例;回到 CFD 改用含接触项的薄层热阻边界后,结温预测与台架相关性回到可接受带,同时重标点涂量与压缩行程把空洞压下去。
动手做
交付物 · 拿一款 TIM 与一对目标表面:① 用 D5470 多厚度数据(或供应商曲线)线性回归出体 k 与接触热阻;② 设计点涂图案与压缩行程把 BLT 控进目标带并估涂覆量;③ 在热阻网络/CFD 里用等效薄层热阻复算结温,与直接填体 k 的结果对比。
常见误区
  • 仿真直接给 TIM 填体导热系数、漏掉两侧接触热阻,结温预测偏乐观
  • 用粗填料高 k 材料却想压很薄的 BLT,颗粒撑住根本压不下去
  • 点涂量只按体积估、漏掉溢出与覆盖率,压合后贫料留空洞
  • 只测材料级 k、不测装配级热阻,忽略真实表面粗糙度与翘曲
  • D5470 只测单一厚度,无法分离 k 与接触热阻,把接触阻误算进 k
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